多晶圆旋转料架ALD中的集成两轴升降旋转电动机的基座;INTEGRATED TWO-AXIS LIFT-ROTATION MOTOR CENTER PEDESTAL IN MULTI-WAFER CAROUSEL ALD

摘要

本发明提供用于处理半导体晶圆的装置和方法，所述装置和方法包括具有真空能力的两轴升降旋转电动机的基座。晶圆经受在顶表面和底表面之间的差压以使得足够的力防止晶圆在处理期间移动，所述差压通过经由与电动机元件的介面施加减小的压力至晶圆背侧来产生。