抗反射涂料组成物及其方法;ANTIREFLECTIVE COATING COMPOSITIONS AND PROCESSES THEREOF

摘要

本发明系关于一种新颖的吸收性抗反射涂料组成物，其包含一新颖的包含至少一种具有结构式(1)之重复单元(A)、至少一种具有结构式(2)之重复单元(B)、及至少一种具有结构式(3)之重复单元(C)之可交联聚合物;其中D系直接价键或C(R1)(R2)亚甲基部分，其中R1及R2独立地为H、C1-C8烷基、C3-C24环烷基或C6-C24芳基；Ar i 、Ar ii 、Ar iii 及Ar iv 独立地为伸苯基及伸萘基部分，R3及R4独立地为氢或C1-C8烷基；及R5及R6独立地为氢或C1-C8烷基；及溶剂。本发明亦关于一种使用该新颖的抗反射涂料组成物来形成影像之方法。; Ar i , Ar ii , Ar iii and Ar iv are independently phenylenic and naphthalenic moiety, R3and R4are independently hydrogen or C1-C8alkyl; and R5and R6are independently hydrogen or C1-C8alkyl; and a solvent. The invention also relates to a process for forming an image using the novel antireflective coating composition.