工件的切断方法及加工液

摘要

一种工件的切断方法，系以螺旋状卷绕且轴方向行进的钢线而于复数个导线器间形成钢线列，且在供给含有磨粒的加工液至工件与钢线的接触部的同时，将工件压抵于钢线列，而将工件切断，其中以硫酸与过氧化氢水的混合液对使用过的磨粒进行处理，将处理后的磨粒重复使用于工件的切断。如此一来，工件的切断中所使用的线锯装置重复使用磨粒时，能使金属杂质对于晶圆的污染受到抑制。