发明名称 PROCESS FOR MANUFACTURING A COMPOSITE STRUCTURE
摘要 본 발명은 합성 구조물을 제조하는 방법에 관한 것이며, 상기 방법은 a) 도너 기판(50) 및 캐리어 기판(10)을 제공하는 단계; b) 유전체층(30)을 형성하는 단계; c) 커버링 층(20)을 형성하는 단계; d) 상기 도너 기판(50) 내에 취약 구역(60)을 형성하는 단계; e) 상기 지지 기판(10)과 상기 도너 기판(50)을 조립하는 단계; f) 상기 취약 구역(60)을 통하여 상기 도너 기판(50)을 절단하는 단계;를 포함하며, 단계들 b) 및 e)는 윤곽(Cz)이 윤곽(Cs) 내에 들어맞도록 수행되며, 단계 c)는 상기 커버링 층(20)이 상기 유전체층(30)의 주변 표면을 커버하도록 수행된다.
申请公布号 KR20150140313(A) 申请公布日期 2015.12.15
申请号 KR20157030956 申请日期 2014.03.21
申请人 SOITEC 发明人 KERDILES SEBASTIEN;CHABANNE GUILLAUME;BOEDT FRANCOIS
分类号 H01L21/762;H01L21/31;H01L21/683;H01L21/78 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
主权项
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