| 摘要 |
変位ばらつきを抑制できる圧電アクチュエータを提供する。ヘッド５は、基体２１と、基体２１に対して厚み方向に重ねられて固定された圧電素子２３とを有する。圧電素子２３は、板状の圧電体４１、及び、該圧電体４１を厚み方向に挟むように配置された共通電極３９及び個別電極４３を有する。基体２１は、圧電体４１（圧電素子２３）よりも熱膨張係数が高い。圧電体４１は、正方晶を主結晶相とし、共通電極３９及び個別電極４３に挟まれた領域において厚み方向の一方側（ｚ方向の正側）へのｃ軸の配向度がロットゲーリングファクターで４４％以上５６％以下であり、平面方向における残留応力が圧縮方向に０ＭＰａ以上３５ＭＰａ以下である。 |
