プラズマ処理装置、および高周波発生器

摘要

プラズマ処理装置（１１）は、その内部でプラズマによる処理を行う処理容器（１２）と、高周波を発振する高周波発振器を有し、処理容器（１２）外に配置されて高周波を発生させる高周波発生器を含み、高周波発生器により発生させた高周波を用いて処理容器（１２）内にプラズマを発生させるプラズマ発生機構（１９）と、高周波発振器の状態を判断する判断機構と、判断機構による判断結果を報知する報知機構とを備える。