| 摘要 |
<p>スリット塗布法やストライプ塗布法が元来もつ高いパターン塗布精度を保持したまま、任意の塗布形状に対応することができる塗布方法および塗布装置を提供する。塗布方法は、ノズルの吐出口から塗液を吐出させて、基板と前記吐出口との間に前記塗液からなるビードを形成するビード形成工程と、前記基板に対して前記ノズルを相対移動させて、前記基板上に前記塗液を塗布する塗布工程と、を含み、前記塗布工程において、前記ノズルの吐出口と前記基板との間隔を変化させることにより、前記基板上における前記塗液の塗布終了位置が調整される。</p> |
