スタンパ用アルミニウム原型とその製造方法、スタンパとその製造方法、物品の製造方法、および反射防止物品

摘要

微細凹凸構造を表面に有するスタンパの製造に用いられる、アルミニウムとマグネシウムとを含有するアルミニウム原型において、マグネシウムの含有量が０．１〜３質量％であり、ケイ素の含有量が１００質量ｐｐｍ以下であり、アルミニウムおよびマグネシウム以外の元素の含有量の合計が５００質量ｐｐｍ以下であり、かつ、当該スタンパ用アルミニウム原型の表面における、相当直径が１０ｎｍ以上のケイ化マグネシウムの個数が１０個／１０００μｍ２以下である、スタンパ用アルミニウム原型を用いる。