| 摘要 |
基板及び圧電／電歪体膜に固着される電極膜の膜厚が薄く、当該電極膜の被覆率が高く、圧電／電歪体膜の耐久性及び絶縁性が良好である圧電／電歪膜型素子を提供する。圧電／電歪膜型素子は、基板、下部電極膜、圧電／電歪体膜及び上部電極膜を備える。基板及び下部電極膜は、固着される。圧電／電歪体膜及び下部電極膜は、固着される。下部電極膜の膜厚は、１μｍ以下である。下部電極膜の被覆率は、９０％以上である。圧電／電歪体膜は、圧電／電歪セラミックスからなる。圧電／電歪セラミックスは、チタン酸ジルコン酸鉛及びビスマス化合物を含む。粒界に相対的に近い粒内周辺部のビスマス／鉛比が粒界から相対的に遠い粒内中心部のビスマス／鉛比より大きい。 |
