摘要 |
パッシベーションの効果の向上によって変換効率が高められた太陽電池素子は、p型の第1半導体領域およびn型の第2半導体領域が、第1半導体領域が最も第1主面側に位置するとともに第2半導体領域が最も第2主面側に位置するように積み重ねられている半導体基板と、第1半導体領域の第1主面側に配された、アルミニウムを含む第1パッシベーション膜とを備えている。そして、該太陽電池素子では、第1パッシベーション膜の内部において、アルミニウムの原子密度を酸素の原子密度で除した第1比率が、0.613以上で且つ0.667未満であるとともに、アルミニウムの原子密度と水素の原子密度との和を酸素の原子密度で除した第2比率が、0.667以上で且つ0.786未満である。 |