发明名称 apparatus for measuring luminosity distribution and method for measuring the luminosity distribution using the same
摘要 <p>본 발명은 광도 분포 측정 장치에 관한 것이다. 본 발명의 실시예에 따른 광도 분포 측정 장치는 조명 샘플을 지지하고 조명 샘플의 온도를 조절하는 온도 조절판을 구비하는 샘플 지지부, 조명 샘플의 광도 분포를 측정하는 광도계(photometer), 조명 샘플에 대한 광도계의 상대적인 위치를 변화시키는 구동부, 그리고 온도 조절판과 구동부를 제어하는 제어부를 포함한다.</p>
申请公布号 KR101576984(B1) 申请公布日期 2015.12.14
申请号 KR20090108524 申请日期 2009.11.11
申请人 삼성전자주식회사 发明人 김희동;강동훈
分类号 H01L21/66;H01L33/02 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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