| 摘要 |
<p>80〜98.3質量％のSi3N4、0.7〜10質量％（酸化物換算）のMg、及び1〜10質量％（酸化物換算）の少なくとも1種の希土類元素を含有し、縦横がそれぞれ100 mm以上で、厚さ0.7 mm以下の窒化珪素焼結体基板を製造する方法であって、窒化珪素粉末と、Mg及び少なくとも1種の希土類元素を含有する焼結助剤粉末とを混合する工程と、得られた混合粉末を成形する工程と、得られたグリーンシートを窒素雰囲気中で焼成する工程とを有し、グリーンシートに10〜600 Paの荷重がかかるように、グリーンシートの上に重し板を配置した状態で焼成工程を行うことを特徴とする方法。</p> |
