| 摘要 |
<p>(과제) 염화 반응로에서 생성된 클로로실란을 함유하는 가스 중에서 염화 알루미늄을 효율적으로 제거한다. (해결 수단) 용기 (1) 중에 염화 나트륨을 충전하여 가열 수단 (17) 에 의해 가열시켜 두고, 그 염화 나트륨층 (16) 중에, 금속 실리콘과 염화 수소의 반응에 의해 생성된 클로로실란을 함유하는 가스를 통과시킴으로써, 그 가스 중에 함유되는 염화 알루미늄과 염화 나트륨의 복염을 생성하고, 그 복염을 분리시킨 후의 가스를 가스 회수관 (26) 으로부터 회수한다.</p> |
