| 摘要 |
<p>本発明は、大気圧で半導体基板を搬送し格納する輸送キャリアの粒子汚染を測定するための測定ステーションに関し、前記輸送キャリアは、開口と開口を閉じることができる着脱可能ドア（３）とを含む剛性筐体（２）を備えている。測定ステーションは、− 少なくとも１つの負荷ポート（８）を備える制御環境チャンバ（４）であって、負荷ポート（８）は、剛性筐体（２）とともに、輸送キャリアのドア（３）とも結合するようになっており、これにより、ドア（３）を、制御環境チャンバ（４）の中に移動させ、剛性筐体（２）の内部を制御環境チャンバ（４）の内部と連通させることができるようになっている制御環境チャンバ（４）と、− 粒子測定ユニット（１４）と筐体測定インタフェース（１６）とを備える測定モジュール（５）であって、筐体測定インタフェース（１６）は、制御環境チャンバ（４）に結合している剛性輸送キャリア筐体（２）に、ドア（３）に代わって結合するようになっている測定モジュール（５）とを備え、前記筐体測定インタフェース（１６）は、測定ヘッドを備え、この測定ヘッドは、筐体測定インタフェースの基部から突出しており、粒子測定ユニット（１４）に接続された第１のサンプル開口（１２）と、少なくとも２つの注入ノズル（２０）とを有し、少なくとも２つの注入ノズル（２０）は、制御環境チャンバ（４）と結合している剛性筐体（２）の上の、異なる、少なくとも２つの場所にガスジェットを導くようになっており、注入ノズル（２０）のそれぞれの方向は、結合剛性筐体（２）に対して固定されていることを特徴としている。本発明はまた、大気圧で半導体基板を搬送し格納する輸送キャリアの粒子汚染を測定するための測定方法にも関する。【選択図】図３ａ</p> |
