| 摘要 |
<p>本発明に係る物理量センサ１００は、支持部材９に支持された第１振動子１及び第２振動子２と、第１振動子１の振動を検出する第１検出手段４と、第２振動子２の振動を検出する第２検出手段５と、第１振動子１又は第２振動子２に設けられ、測定対象物を吸着及び／又は脱離可能な性質を有する感応体６と、第１振動子１と第２振動子２とを連結する弾性手段７と、加振手段３が第１振動子１を加振する所定の周波数を決定する演算手段８とを備える。演算手段８は、第２振動子２の振幅が最大となるように所定の周波数を決定し、加振手段３が第１振動子１を加振しているときに、第２振動子２の振幅と、第１振動子１の振幅との比に基づき測定対象物の質量又は濃度を算出することを特徴とする。</p> |
