| 摘要 |
기판 위의 금속 함유 잉크를 건조 및 소결시키기 위한 공지의 장치는 기판을 조사하기 위한 다수 개의 광 방사체와 상기 기판으로 방사선을 반사하기 위한 반사체를 구비하고 있다. 상기 공지의 장치에서 방사체와 기판은 이송방향으로 서로 상대 이동이 가능하다. 상기 공지의 장치를 토대로 하여 금속 함유 잉크를 건조 및 소결시키기 위한 효율적인 장치로서 기판을 균질하게 조사할 수 있고 소형의 구성을 가지며 또한 제작이 단순하면서 경제적인 장치를 구체화하기 위한 본 발명에 따르면, 광 방사체가 원통형 방사체 튜브와 방사체 튜브 종축을 갖고 총 방사체 출력 중 IR-B 방사선의 방사성분이 적어도 30%이고 IR-C 방사선의 방사성분이 적어도 5%인 방사선을 방출하는 적외선 방사체이고, 상기 적외선 방사체는 방사체의 방사체 튜브 종축이 서로 평행하고 이송방향에 대해 횡으로 연장되도록 방사체 모듈 안에 배치되어 있고 이송방향으로 봤을 때 건조 구간과 건조 구간의 후방에 배치되어 있는 소결 구간으로 조사장이 분할되도록 기판의 표면에 조사장을 조사하되, 이송방향으로 연장되어 있는 중심축을 따라 상기 건조 구간은 소결 구간보다 적어도 15% 더 낮은 평균 조사 밀도에 노출된다. |
