| 摘要 |
<p>매 양식에 1매씩 피처리기판을 평류 반송하는 기판 반송장치에 있어서, 기판 반입으로부터 반송 개시까지의 택트 타임을 단축하여, 스루풋을 향상한다. 피처리기판(G)을 부상시키는 부상 스테이지(3)와, 상기 부상 스테이지의 좌우 측방에 평행하게 배치된 한 쌍의 가이드 레일(5)과, 상기 한 쌍의 가이드 레일을 따라서, 각각 이동 가능하게 설치되어, 상기 기판의 가장자리부를 하방으로부터 흡착 유지 가능한 복수의 기판 캐리어(6)와, 상기 부상 스테이지의 기판 반입위치 (H)에서, 반입된 상기 기판에 대해 대기위치로부터 소정 위치까지 자유롭게 진퇴 가능하도록 설치되고, 상기 기판에 접하여 상기 기판을 소정 위치에 배치하는 얼라이먼트 수단(7a)과, 상기 부상 스테이지의 기판 반입위치에 있어서, 상기 얼라이먼트 수단에 의해 소정 위치에 배치된 상기 기판을 상기 기판의 하방으로부터 지지하는 기판 지지수단(8)과, 상기 기판 캐리어와 상기 얼라이먼트 수단과 상기 기판 지지수단의 동작을 제어하는 제어부(50)를 구비한다.</p> |
