| 摘要 |
본 발명은, 공정 챔버로부터 공정 가스를 진공 배기하고 공정 가스로부터 유해 물질을 제거하기 위한 진공 펌핑 및 저감 시스템에 관한 것이다. 본 발명은 또한 진공 펌핑 구조체를 퍼지하는 방법에 관한 것이다. 본 발명은, 공정 챔버로부터 공정 가스를 진공 배기하고 공정 가스로부터 유해 물질을 제거하기 위한 진공 펌핑 및 저감 시스템을 제공함으로써, 소유 및 작동의 비용 및 이러한 시스템의 탄소 발자국을 감소시키도록 추구한다. 시스템은, 공정 챔버로부터 공정 가스를 진공 배기하기 위한 진공 펌프와; 진공 배기 동안 진공 펌핑 구조체를 퍼지하기 위한 압축 공기의 공급원과; 진공 펌핑 구조체로부터 공정 가스 및 압축 가스를 수용하고, 공정 가스를 산소 내에서 연소시킴으로써 그들로부터 유해 물질을 제거하기 위한 버너를 포함하고, 연소를 보조하는 산소 중 적어도 일부는 압축 공기로부터 유래된다. |
