基板载置机构、基板处理装置、基板载置机构之控制方法及记忆媒体

主权项

一种基板载置机构，其特征为，具备有：被处理基板载置用的载置台；于上述载置台的内侧，设置成出没自如，可支撑上述被处理基板外周缘部的第1昇降器；及设置于上述载置台的外侧，将相较于上述第1昇降器支撑上述被处理基板的位置更靠近上述被处理基板中央的部份予以支撑的第2昇降器，上述第2昇降器，具备有：可朝垂直方向昇降的轴；安装在上述轴的前端部份，藉由上述轴的旋转，可从上述载置台的外侧的上方朝上述载置台的载置面上方旋绕的旋绕臂；以及安装在上述旋绕臂，在上述载置台的载置面上方，可从第1昇降器的外侧朝第1昇降器的内侧朝水平方向伸缩的伸缩臂；在使上述被处理基板背面局部抵接于上述载置面上的状态下，在上述第1昇降器和上述第2昇降器间执行上述被处理基板的交接。