使用气体混合物之自由基的原子层沈积

主权项

一种在基板上沈积材料层之方法，其包含：将源前驱体注入基板上；将NH3气体与N2O气体之混合物注入自由基反应器中，该混合物中N2O与NH3之比率为70：30至90：10；于该自由基反应器中产生该混合物之自由基；及将所产生之自由基注入该基板上，其中自该自由基反应器至该基板之距离为小于80mm，该等所产生之自由基与源前驱体分子反应或置换该等源前驱体分子，以在该基板上沈积材料层。