| 主权项 |
一种敏辐射线性树脂组成物，其特征为含有(A)包含具以下式(1-a)所示构造与以下式(1-b)所示构造之化合物以及磺醯亚胺之敏辐射线性酸产生剂及(B)全部树脂具有以下式(2)所示重覆单位、以下式(3)所示重覆单位及/或以下式(4)所示重覆单位，
[式(1-a)中各R1、各R2及各R3系互相独立示氢原子、羟基、C1~C10直链状、支链状或环状之烷基、C1~C10直链状、支链状或环状之烷氧基或第三丁氧羰基甲氧基，且满足下列条件中之至少一个条件：两个或更多个R1分别是除氢原子之外的基团的条件；两个或更多个R2分别是除氢
原子之外的基团的条件；及两个或更多个R3分别是除氢原子之外的基团的条件]、[式(1-b)中，各R4系互相独立示氢原子、氟原子或三氟化甲基，且一个或更多个R4分别为氟原子或三氟化甲基]，[式(2)中，R5系示氢原子或甲基，R6示一价有机基(惟除去第三丁氧基及-O-Z(Z系第三丁基以外之一价酸离解性基))，m系0~3之整数，n系1~3之整数，复数存在之R6可互为相同或不同]、[式(3)中，R7系示氢原子或甲基，R8示一价有机基(惟除去第三丁氧基及-O-Z(Z系第三丁基以外之一价酸离解性基))，R9示第三丁基，p系0~3之整数，q系1~3之整数，复数存在之R8可互为相同或不同]、[式(4)中，R10示氢原子或甲基，R11示第三丁基]。 |
