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<p>플라즈마 처리 장치를 위한 샤워헤드 전극은 전극 플레이트와 백킹 플레이트의 대향하는 면들 사이에 인터페이스 겔을 포함한다. 인터페이스 겔은 열 팽창 계수의 불일치에 기인하여 온도 사이클링 동안 발생된 횡 변위 동안 열 전도성을 유지한다. 인터페이스 겔은, 예를 들면, 산화 알루미늄 미소구체들로 채워진 실리콘 (silicone) 계 복합재를 포함한다. 인터페이스 겔은 불규칙한 형상의 피쳐들에 순응할 수 있고 짝을 이루는 면들 사이에 면 접촉 면적을 최대화할 수 있다. 인터페이스 겔은 소모성 상부 전극에 사전 도포될 수 있다.</p> |
