发明名称 DISPOSITIF ET PROCEDE D'ANALYSE D'UN ECHANTILLON SOLIDE PAR SPECTROMETRIE DE DECHARGE LUMINESCENTE
摘要 La présente invention concerne un dispositif d'analyse d'un échantillon solide par spectrométrie de décharge luminescente comprenant une lampe à décharge luminescente, comprenant des électrodes (3, 13), une enceinte à vide (2), une face avant de l'échantillon (4) fermant l'enceinte à vide (2), ladite lampe à décharge luminescente étant adaptée pour former un plasma de décharge luminescente dans l'enceinte à vide (2) de manière à éroder une partie (34) de la face avant de l'échantillon exposée à ce plasma, un spectromètre (25) comprenant un détecteur adapté pour détecter des espèces excitées ou ionisées du plasma, et un système de refroidissement adapté pour refroidir l'échantillon. Selon l'invention, le système de refroidissement comporte un caloduc (6), le caloduc (6) ayant une partie (16) en contact thermique avec l'échantillon (4), de manière à absorber une quantité d'énergie de chaleur de l'échantillon (4), le caloduc (6) ayant une autre partie (26) placée à distance de l'échantillon (4).
申请公布号 FR3022027(A1) 申请公布日期 2015.12.11
申请号 FR20140055253 申请日期 2014.06.10
申请人 HORIBA JOBIN YVON SAS 发明人 CHAPON PATRICK;FAUCHER PASCAL;LEGENDRE SEBASTIEN
分类号 G01N21/67;H01J49/02 主分类号 G01N21/67
代理机构 代理人
主权项
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