静电吸盘

主权项

一种静电吸盘，其包括：陶瓷基体，其于上表面具有载置面，且含有Mn；及吸附用电极，其设置于该陶瓷基体之内部；上述陶瓷基体之自上述陶瓷基体之上表面至上述吸附用电极为止之区域内之Mn含量，小于自上述吸附用电极至上述陶瓷基体之下表面为止之区域内之Mn含量；且自上述陶瓷基体之上表面至上述吸附用电极为止之区域内之Mn含量为1×10-4质量%以下。