测量设备，微影设备，和物品制造方法

主权项

一种测量设备，其基于第一相位信号及第二相位信号测量一物件之位置，该等信号之相位系彼此不同，该测量设备包括：产生器，被建构成基于该第一相位信号与第二相位信号间之相位差的变动量、及该频率产生一差异信号，该差异信号指示该第一相位信号之延迟时间与该第二相位信号的延迟时间之间的差异，该变动量对应于该第一相位信号与该第二相位信号之至少一者的频率；及调整器，被建构成基于该差异信号调整用于该第一相位信号与该第二相位信号之至少一者的取样时机。