电浆处理装置，电浆处理方法及记忆媒体

主权项

一种平行板型电浆处理装置，具备：阴极，在处理容器内与该处理容器絶缘，并透过匹配电路连接到用于输出电浆产生用之高频率之高频电源；以及阳极，设成与该阴极相对，并隔着絶缘体与上述处理容器絶缘；在上述阴极与阳极之一方的电极上载置基板，并利用高频电力电浆化处理气体，而藉由该电浆对基板进行电浆处理；其特征为具备：偏压用高频电源，产生电浆时，在放置基板侧之电极施加比产生电浆用之高频频率为低的偏压用高频；阻抗调节部，其一端连接到上述阳极，同时另一端连接到上述处理容器，用于控制由阴极透过电浆、阳极以及处理容器之壁部至上述匹配电路之接地框体的阻抗值；电压测定部，用于测定上述阻抗调节部之电压；带通滤波器，介设于上述阻抗调节部与电压测定部之间，若在阻抗调节部之电压中，设定电浆产生用之高频之频率为f1，设定偏压用高频之频率为f2时，则设定f1为通过频带，f1-f2与f1+f2为衰减频带；以及控制部，产生电浆时，边使上述阻抗调节部之阻抗值变化，边由上述电压测定部取入被测定的电压值，并根据该电压值运算流入上述阳极之电流值，设定上述阻抗调节部的阻抗值俾使该电流值成为最大值或接近该值。