微影系统及对准系统

主权项

一种微影系统，适用于积体电路的制造，包括：一基底平台，用以承载一基底，并且方便移动该基底；一对准模组，包括：一可调式光源，产生复数红外线，该等红外线具有不同波长，其中该可调式光源每次发出该等红外线之一者，该等红外线之每一者的波长位于420nm~900nm之间；以及一侦测器，用以接收一光线；以及一曝光模组，整合在该对准模组之中，并对涂布在该基底上的一光阻层执行一曝光程序。