| 摘要 |
<p>증착 챔버의 증착 물질 감지 장치 및 상기 증착 챔버의 증착 물질 감지 장치에 적용되는 자성 유체 씰이 개시된다. 개시되는 증착 챔버의 증착 물질 감지 장치는 메인 베이스 부재; 상기 메인 베이스 부재의 전면에 배치되고, 증착 챔버 내의 증착 물질을 감지하기 위한 크리스털이 서로 이격된 위치에 복수 개 배치되는 크리스털 배치 부재; 상기 크리스털 배치 부재의 전면을 덮어 상기 크리스털 배치 부재를 가리고, 상기 증착 챔버 내의 증착 물질이 유입될 수 있는 덮개 부재 홀이 관통된 크리스털 덮개 부재; 상기 크리스털 덮개 부재의 전면에 배치되고, 상기 덮개 부재 홀과 연통되어 상기 증착 챔버 내의 증착 물질이 유입될 수 있는 쵸퍼 홀이 관통된 쵸퍼 부재; 상기 메인 베이스 부재를 회전 가능하게 관통하여 상기 크리스털 배치 부재에 연결되는 크리스털 배치 부재 연결 부재; 상기 메인 베이스 부재를 회전 가능하게 관통하여 상기 쵸퍼 부재에 연결되는 쵸퍼 부재 연결 부재; 상기 크리스털 배치 부재 연결 부재와 상기 쵸퍼 부재 연결 부재 중 적어도 하나를 회전시킬 수 있는 회전 부재; 및 상기 회전 부재가 상기 쵸퍼 부재 연결 부재만을 회전시키도록 상기 회전 부재를 상기 쵸퍼 부재 연결 부재 단독에만 연결시키거나 또는 상기 회전 부재가 상기 쵸퍼 부재 연결 부재와 상기 크리스털 배치 부재 연결 부재 모두를 함께 회전시키도록 상기 회전 부재를 상기 쵸퍼 부재 연결 부재와 상기 크리스털 배치 부재 연결 부재 모두에 연결시켜줄 수 있는 클러치 부재;를 포함하고, 상기 크리스털 배치 부재 연결 부재와 상기 쵸퍼 부재 연결 부재는 동일한 축선(軸線)을 가지는 것을 특징으로 한다. 개시되는 증착 챔버의 증착 물질 감지 장치 및 상기 증착 챔버의 증착 물질 감지 장치에 적용되는 자성 유체 씰에 의하면, 클러치 부재에 의해 회전 부재가 쵸퍼 부재 연결 부재 단독에만 또는 쵸퍼 부재 연결 부재와 크리스털 배치 부재 연결 부재 모두에 선택적으로 연결될 수 있으므로, 간명한 구조를 가지면서도 쵸퍼 부재와 크리스털 배치 부재가 선택적으로 회전될 수 있게 되는 장점이 있다.</p> |
