溅镀靶及其制造方法

主权项

一种溅镀靶，系具备：第1靶部，形成腐蚀区域；第2靶部，系具有：第1区域，被前述第1靶部所被覆；第2区域，形成非腐蚀区域；以及接合部，系藉由与前述第1靶部、前述第1区域以及前述第2区域进行摩擦搅拌接合而一体化形成；前述第1靶部的全域以及前述接合部系藉由前述摩擦搅拌接合而被摩擦搅拌。