| 主权项 |
一种在半导体基材表面上实行电化学反应之装置，其特征在于该装置包含：-一欲容纳电解质之容器；-一配置于该容器内之支承件，该支承件系适用于使半导体基材接附至该支承件上；-一配置于该容器内之相对电极，该相对电极系环状且具有一中央开口；-配置于该容器内且与该相对电极之中央开口共轴座落和共平面之照明构件，该照明构件包含：(i)一发出光线之光源，该光源系相对于该相对电极设置，而使得所发出之光线实质上通过该相对电极之中央开口；及(ii)一光扩散遮罩，用以使所发出之光线均匀分散于所有该半导体基材表面上，俾以活化该表面；以及-一电力供应器，其包含连接半导体基材并连接相对电极之连接构件，俾以在一能使电化学反应发生之电位下极化该半导体基材的该表面。
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