摘要 |
<p>본 발명은 사전 수처리 기능을 가지는 스크러버에 관한 것으로서, 공정챔버와 연결된 주입부와, 반응기의 버너와 연결된 연결배관 사이에 사전 수처리부가 설치되어 상기 주입부에서 연결배관으로 이동되는 공정가스가 수처리될 수 있도록 한 것과 관련된다. 이러한 본 발명은 공정가스에서 생성되는 파우더가 연결배관 또는 버너의 내부에 형성되지 않고 사전 수처리부를 통해 미리 제거됨에 따라 파우더에 의한 연결배관의 압력이 변화되거나, 버너의 화염이 꺼지는 현상이 방지될 수 있는 효과를 가진다.</p> |