| 主权项 |
一种化学增幅正型光阻材料系以波长150nm以上之紫外线作为曝光光源者，其系含有(A)~(C)成分，(A)高分子化合物，其系具有被酸不安定基保护的酸性官能基之硷不溶性或难溶性高分子化合物，于该酸不安定性基脱离时变成硷可溶性、(B)酸产生剂、(C)以下述一般式(1)表示之非离子性含氟有机矽氧烷系化合物，
(式中，Rf表示在碳数5~30之分子链中含有1个以上之醚键的全氟烷基、Q表示聚乙二醇或聚丙二醇之均聚链或此等两者之共聚合链所形成的聚醚基、R为氢原子或碳数1~4之烷基、X为除氧原子外之2价连结基、Y为2价连结基、p为3以上之整数、n为满足0<n<3之正数)。 |
