低温泵系统、低温泵系统的运行方法及压缩机单元

主权项

一种低温泵系统，其特征为，具备：低温泵；前述低温泵用的工作气体的压缩机；控制装置，系构成为控制前述压缩机的运行频率；气体管路，系连接前述低温泵和前述压缩机；及气体量调整部，系构成为将前述气体管路的工作气体量至少切换为第1气体量和第2气体量，前述气体管路具有第1气体量时，前述运行频率的可控制范围系赋予工作气体的第1流量范围，前述气体管路具有第2气体量时，前述可控制范围系赋予工作气体的第2流量范围，前述第2流量范围具有与前述第1流量范围非重复之部份。