电浆处理装置

主权项

一种电浆处理装置，系于处理室内产生感应耦合电浆来对收容于该处理室内之基板进行处理者；其特征在于系具备有：处理室本体，系具有上部开口而形成为容器状；上盖，系以覆盖该上部开口的方式所设置者，具有将直径不同之复数环状介电质构件与金属构件交互地组合成为同心圆状并将该介电质构件与该金属构件之间加以气密密封之顶板部；复数气体导入机构，系配置于该上盖之该金属构件的部分，用以对该处理室内供给处理气体；以及高频线圈，系配置于该处理室外之该介电质构件的上部。