基板固持件及镀覆装置

主权项

一种基板固持件，其系包含：一固定固持构件与一活动固持构件，用以藉由抓持一基板的周边部而可拆式地固持该基板于其间；以及一内密封构件与一外密封构件，彼等系固定于该活动固持构件，以及在该基板被该活动固持构件及该固定固持构件固持时，分别密封该活动固持构件与该基板之该周边部的连接以及该活动固持构件与该固定固持构件的连接，其中该活动固持构件包含一密封座，以及该内密封构件及该外密封构件系固定于该密封座与固接至该密封座的固定环之间，该内密封构件与该外密封构件分别在该等密封构件与该密封座接触之表面具有一密封突出物。