发明名称 烧结气体控制系统
摘要
申请公布号 TWM514109 申请公布日期 2015.12.11
申请号 TW104214936 申请日期 2015.09.15
申请人 环球晶圆股份有限公司 发明人 李德浩;罗仕宾;邱彦泽;施英汝;徐文庆
分类号 H01L21/70 主分类号 H01L21/70
代理机构 代理人 李文贤 新北市板桥区民生路1段33号17楼之3
主权项 一种烧结气体控制系统,用于一烧结炉体,该烧结气体控制系统包含: 一第一控制阀,连接该烧结炉体,并与一氮气槽连接; 一第二控制阀,连接该烧结炉体,并与一氢气槽连接; 一第一流量计,设置于该第一控制阀与该烧结炉体之间的一管路上,用以侦测通入该烧结炉体之一氮气流量; 一第二流量计,连接该第二控制阀与该烧结炉体之间的另一管路,用以侦测通入该烧结炉体之一氢气流量; 一警示单元,产生一警示信号;以及 一控制设备,电气连接烧结炉体、该第一控制阀、该第二控制阀、该第一流量计、该第二流量计、以及该警示单元,控制该第一控制阀及该第二控制阀的开启及关闭,以及该烧结炉体的启动或关闭,并判断该氮气流量以及该氢气流量是否正常,并在该氮气流量或该氢气流量异常时,控制该警示单元启动。
地址 新竹市工业东二路8号