影像关键尺寸量测校正方法及系统

主权项

一种影像关键尺寸量测校正方法，包含：一影像取得步骤，自一基材经由一次性影像撷取，取得复数图案影像，该等图案影像包含一预定影像及一待量测或校正之目标影像，该预定影像具有固定的节距，并具有一预设的节距尺寸预设值；一量测步骤，沿一预定方向量测该预定影像以及该待量测或校正之目标影像的画素数目，或是沿一预定方向量测该预定影像的至少一个节距得到一节距尺寸量测值，以及量测该待量测或校正之目标影像的一关键尺寸，得到一关键尺寸量测值；及一校正计算步骤，利用该预定影像的节距尺寸预设值与该预定影像的节距尺寸量测值或画素数目进行比值运算，再利用该比值运算结果对该待量测或校正之目标影像的关键尺寸量测值进行校正，或是计算该待量测或校正影像的关键尺寸。