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发明名称 Semiconductor device and a method of forming the same
摘要
申请公布号 KR100573484(B1) 申请公布日期 2006.04.24
申请号 KR20030043410 申请日期 2003.06.30
申请人 发明人
分类号 C23C16/42;H01L21/28;H01L21/3105;H01L21/312;H01L21/316;H01L21/768 主分类号 C23C16/42
代理机构 代理人
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