| 摘要 |
<p>Die vorliegende Erfindung betrifft eine Anordnung zur Abtastung einer Objektfläche mit Laserstrahlung, die wenigstens einen Strahlteiler zur Aufteilung eines eingekoppelten Laserstrahls in mehrere Teilstrahlen, eine Scaneinrichtung zur Abtastung eines Bereiches der Objektfläche mit den Teilstrahlen sowie eine zwischen dem Strahlteiler und der Scaneinrichtung angeordneten Abbildungsoptik aufweist, die zur Abbildung des Strahlteilers in die Scaneinrichtung ausgebildet ist und einen Zwischenfokus erzeugt, in dem die Teilstrahlen räumlich getrennt voneinander sind. Im Bereich des Zwischenfokus ist ein Strahlversatzmodul angeordnet, das für jeden oder wenigstens einige der Teilstrahlen getrennt wenigstens ein drehbar gelagertes, optisch transparentes planparalleles Element mit wenigstens einem Aktor aufweist, durch den das Element gedreht werden kann. Das planparallele Element ist dabei so im Strahlengang des Teilstrahls angeordnet, dass der Teilstrahl beim Durchgang durch das Element einen von der Drehstellung abhängigen parallelen Strahlversatz erfährt. Durch geeignete Drehung der planparallelen Elemente im Strahlversatzmodul lassen sich Positionierungsfehler der Laserspots, die durch die Scaneinrichtung verursacht werden, zumindest teilweise dynamisch kompensieren.</p> |
