Extreme ultraviolet photomask and Method and Apparatus for Fabricating the Same
摘要
<p>극자외선 포토마스크, 이를 제조하기 위한 방법 및 장치가 제공된다. 상기 제조 방법은 포토마스크 기판 상에 상부막을 형성한 후, 상부막을 패터닝하여 경사진 측벽을 갖는 상부 패턴을 형성하는 단계를 포함한다. 상부막을 패터닝하는 단계는 상부막의 상부면에 경사진 제 1 방향에 평행하게 운동하는 하전된 입자들을 사용하여 상부막을 이방성 식각하는 단계를 포함한다.</p>
