| 摘要 |
<p>基材１１と、基材１１の片側に設けられた剥離剤層１２とを備えたセラミックグリーンシート製造工程用剥離フィルム１であって、剥離剤層１２は、活性エネルギー線硬化性成分およびシリコーン系成分を含む剥離剤組成物の硬化物であり、剥離剤層１２の基材１１とは反対側の面における算術平均粗さ（Ｒａ）が８ｎｍ以下であり、かつ最大突起高さ（Ｒｐ）が５０ｎｍ以下であるセラミックグリーンシート製造工程用剥離フィルム１。かかるセラミックグリーンシート製造工程用剥離フィルム１によれば、セラミックグリーンシートにピンホールや厚みむら等の欠陥が発生することを防止・抑制することができ、さらにはセラミックグリーンシートの剥離性にも優れる。</p> |
