多結晶シリコンおよびその鋳造方法

摘要

高い変換効率を有する太陽電池に好適な多結晶シリコンおよびその鋳造方法を提供する。本発明の多結晶シリコンの鋳造方法は、チャンバの誘導コイル内に、軸方向の少なくとも一部が周方向で複数に分割され、内表面に窒素を含む離型材が塗布された無底の無底冷却ルツボを配置し、前記誘導コイルによる電磁誘導加熱により、前記無底冷却ルツボ内に多結晶シリコンの原料を溶融し、得られた溶融シリコンを冷却して凝固させつつ下方へ引き抜く、多結晶シリコンの鋳造方法であって、前記凝固された溶融シリコンの引き抜きは、該溶融シリコンにおける炭素濃度を４．０?１０１７ａｔｏｍｓ／ｃｍ３以上６．０?１０１７ａｔｏｍｓ／ｃｍ３以下かつ酸素濃度を０．３?１０１７ａｔｏｍｓ／ｃｍ３以上５．０?１０１７ａｔｏｍｓ／ｃｍ３以下かつ窒素濃度を８．０?１０１３ａｔｏｍｓ／ｃｍ３以上１．０?１０１８ａｔｏｍｓ／ｃｍ３以下の調整の下に行う。