| 摘要 |
<p>本発明のグリーンシート製造用剥離フィルムは、基材と、基材の第１の面側に設けられた剥離剤層とを有し、該剥離剤層は、（メタ）アクリロイル基、アルケニル基およびマレイミド基から選択される反応性官能基を１分子中に３つ以上含有する紫外線硬化性化合物（Ａ）と、ポリオルガノシロキサン（Ｂ）と、α−アミノアルキルフェノン系の光重合開始剤（Ｃ）とを含み、その平均厚さが０．３〜２μｍ、外表面の算術平均粗さＲａ１が８ｎｍ以下、最大突起高さＲｐ１が５０ｎｍ以下であり、上記基材の第２の面は、算術平均粗さＲａ２が５〜４０ｎｍで、その最大突起高さＲｐ２が６０〜５００ｎｍであることを特徴とする。本発明によれば、グリーンシートにピンホールや部分的な厚みのばらつきが発生するのを抑制することができる。</p> |
