发明名称 Verfahren zur Herstellung einer Kontaktstruktur zwischen einem Kantenabschnitt eines 2D-Materials und einem Metall
摘要 Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung einer Kontaktstruktur zwischen einem Kantenabschnitt eines 2D-Materials und einem Metall, umfassend (a) Bereitstellung einer Mehrschichtstruktur, die – ein elektrisch nicht leitfähiges Substrat, – ein elektrisch leitfähiges oder halbleitendes 2D-Material mit einer Unterseite, die das elektrisch nicht leitfähige Substrat kontaktiert, einer Oberseite und einer das 2D-Material begrenzenden Kante, wobei die Kante einen Kantenabschnitt umfasst, der mit dem Metall kontaktiert werden soll, – einen Schutzfilm aus einem elektrisch nicht leitfähigen Material auf der Oberseite des 2D-Materials, aufweist, (b) Anbringen der Mehrschichtstruktur in einer Elektrolysezelle, in der sich ein Elektrolyt befindet, der eine reduzierbare Verbindung des Metalls enthält, wobei der Kantenabschnitt des 2D-Materials mit dem Elektrolyten in Kontakt gebracht wird und das 2D-Material als Kathode geschaltet ist, so dass das Metall entlang des Kantenabschnitts des 2D-Materials elektrochemisch abgeschieden wird.
申请公布号 DE102014222749(B3) 申请公布日期 2015.12.10
申请号 DE201410222749 申请日期 2014.11.07
申请人 FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. 发明人 BYER, BEATRICE;SCHOBER, MATTHIAS;PHILIPP, ANDRÉ
分类号 H01L21/288;H01L29/40 主分类号 H01L21/288
代理机构 代理人
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