| 摘要 |
<p>Magnetfeldsensor, umfassend:–eine Struktur (1), umfassend ein ringförmiges Loch (7), das auf einem Bulksubstrat (40) bereitgestellt ist, und umfassend eine Anzahl (N) von inneren Elektroden (5), die in äquidistanten Winkelpositionen auf einem inneren Kreis angeordnet ist, der konzentrisch mit dem Loch (7) ist, und wobei die gleiche Anzahl (N) von äußeren Elektroden (4) an äquidistanten Winkelpositionen auf einem äußeren Kreis angeordnet ist, der konzentrisch mit dem Loch (7) und radial mit den inneren Elektroden (5) ausgefluchtet ist, um Paare von Vorspannelektroden zu bilden, und wobei die gleiche Anzahl (N) von Ausleseelektroden (6) an äquidistanten Winkelpositionen auf einem Zwischenkreis angeordnet ist, der konzentrisch zu dem Loch (7) ist, jedoch im Winkel mit Bezug auf die inneren und äußeren Elektroden (5, 4) über 180° geteilt durch die Anzahl (N) verschoben;–und eine Vorspann-und-Ausleseschaltung (10), umfassend eine Vielzahl von Schaltern, um selektiv eine fortschreitende Aufeinanderfolge von unterschiedlich ausgerichteten Vorspannströmen an ein Paar Vorspannelektroden (4p, 5p) anzulegen, und um selektiv eine Differenzial-Hall-Spannung über eine fortschreitende Aufeinanderfolge von zwei Auslese-Elektroden (6p, 6q) zu lesen, die sich in einem gleichen Abstand zu der ausgewählten äußeren Vorspannelektrode (4p) befindet, wobei die Vorspannelektroden (4p, 5p) und die Ausleseelektroden (6p, 6q) ein horizontales Hall-Element (99) bilden, wobei die Differenzial-Hall-Spannung die relative Stärke von Magnetfeldkomponenten an der Stelle des Hall-Elements (99) anzeigt.</p> |
