ガス含有間隙を含むＭＥＭＳ固定コンデンサー及び前記コンデンサーを製造するための方法

摘要

ＭＥＭＳ固定コンデンサー（１）は、基板（Ｓ）の上に形成された下部金属電極（３）、下部金属電極の上に金属支柱（５）によって支持された上部金属電極（２）、及び前記上部金属電極（２）と前記下部金属電極（３）の間に非固体誘電体層を形成するガス含有間隙（４）を含み、前記上部金属電極（２）と前記下部金属電極（３）の間の距離（Ｄ）が１μｍ以下であり、前記上部金属電極（２）の厚さ（Ｅ）が１μｍ以上である。【選択図】図２