Cassette supplying system

摘要

카세트 공급시스템이 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 카세트 공급시스템은, 상부 영역에 카세트가 반입 또는 반출되는 카세트 출입구가 마련되는 공정 챔버와, 카세트를 이송하는 카세트 이송유닛과, 카세트 이송유닛에 이웃하게 위치하고 공정 챔버의 상측에 배치되며, 카세트 이송유닛과 공정 챔버 간에 어느 한 측에서 다른 측으로 카세트를 전달하는 카세트 전달유닛을 포함한다.