| 摘要 |
<p>Kapazitives Sensorelement (50; 70) mit integrierter Mess- und Referenzkapazität, mit folgenden Merkmalen. einem Träger (12), der eine Kondensatorelektrode (14) und eine Referenzelektrodenanordnung (60; 80) aufweist; und einer bereichsweise auslenkbaren Membran (18) mit einem als Kondensatorgegenelektrode wirksamen Auslenkungsbereich (18a) und einem Randbereich (18b), wobei die Membran an einem Befestigungsabschnitt (20) an dem Träger (12) befestigt ist, und wobei die Kondensatorelektrode (14) und die Kondensatorgegenelektrode (18a) die Messkapazität (Cmess) bilden; wobei die Referenzelektrodenanordnung (60; 80) in Metallisierungsebenen (12-1, 12-2, 12-3, 12-4) des Trägers (12) integriert ist und die Referenzkapazität (Cref) bildet, deren Kapazitätswert zumindest eine Komponente eines auf die Messkapazität einwirkenden Störeinflusses (Cpar) wiedergibt..</p> |
