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<p>Verfahren zum Bewerten einer Güte eines Vakuums, aufweisend die Schritte: a) Bestromen eines im Vakuum angeordneten, thermisch isolierten, thermoempfindlichen Messelements (10) mit einem ersten konstanten elektrischen Messstrom (I1); b) Bestromen des Messelements (10) für eine definierte Zeitdauer mit einem zweiten konstanten elektrischen Messtrom (I2), wobei ein einmaliges sprunghaftes Umschalten vom ersten Messstrom (I1) auf den zweiten Messstrom (I2) und anschließend ein einmaliges sprunghaftes Umschalten vom zweiten Messstrom (I2) auf den ersten Messstrom (I1) durchgeführt wird; c) Ermitteln von elektrischen Messspannungen (UM), die durch die beiden Messströme (I1, I2) am Messelement (10) abfallen; und d) Ermitteln der Güte des Vakuums aus der Differenz der beiden Messspannungen (UM).</p> |
