摘要 |
放熱性を効果的に高め得る弾性波装置を提供する。支持基板11に直接または間接に圧電体層13が支持されており、圧電体層13に接するように電極14が設けられている弾性波素子5〜7と、支持基板11の圧電体層13を支持している面とは反対側の面に積層されている高熱伝導部材23とを備え、支持基板11の熱伝導率が圧電体層13の熱伝導率よりも高く、支持基板11の線膨張率が圧電体層13の線膨張率よりも低く、高熱伝導部材23の面積が支持基板11の圧電体層13を支持している面よりも大きくされており、かつ熱伝導率が圧電体層13よりも高くされている、弾性波装置1。 |